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| R/W Circuitry 读写电路 | Radial Heat Sink Rear Channel Decorrelation Circuitry 后方声道解相关电路 | radial temperature uniformity 径向温度均一性 |
| radical 基 | radio frequency 射频 | Radio frequency identification (RFID) 射频识别 |
| Radio frequency linac accelerator 高频线性加速器 | Radio frequency lines accelerator 高频线性加速器 | radio frequency quadrapole accelerator 高频四重极加速器 |
| radio frequency workcoil 高频工作线圈 | radition shield 辐射屏障 | ramp rate 升降温速度/斜坡率 |
| ramp up 倾斜升温，每单位时间之温度上升 | ramp voltage test 斜坡电压测试 | rank marking 按等级标印 |
| rapid cooling system 急冷系统 | rapid mixing chamber 快速混合槽 | rapid sand filter 快速砂砾过滤器 |
| rapid thermal process 快速热处理 | rate 比率 | rated output power of ultrasonic generator 超音波产生器额定输出 |
| ratio of crucible shaft driving speed 坩埚轴驱动速度比率 | RC parameter extraction RC 参数萃取 | RC Time Constant RC时间常数 |
| RCA cleaning method RCA洗条法 | reaction chamber/ reactor 反应室/反应器 | reaction tube 反应管 |
| reactive ion beam etching system/RIBE system 反应性离子束蚀刻系统 | reactive ion etching system/RIE system 反应性离子蚀刻系统/RIE系统 | reactive sputter etching system 反应性溅镀蚀刻系统 |
| reactive sputtering system 反应性溅镀系统 | reagent 化学助剂 | real chip simulator 实际芯片仿真器 |
| Real Time timing control 及时定时控制 | Real tube 真空管 | real-time redundancy judgement function 实时冗余判断功能 |
| receiver 接受匣盒 | receiving antenna 接收天线 | recharge CZ method 再补充CZ 法 |
| rechargeable cell 充电电池 | recipe 处理程序 | reciprocal logic circuit 互逆逻辑电路 |
| reclaim wafer 回收晶圆 | Reclaimed wafers 再生晶圆 | recognition rate 识别率 |
| Reconfigurable logic 可重构逻辑 | record player 唱机 | rectifier 整流器 |
| rectifier filter 整流滤波器 | reduced instruction set computer（RISC） 精简指令集计算机 | reduced pressure controller 减压控制器 |
| reduced pressure method 减压法 | reduced pressure vapor phase epitaxial growth system 减压汽相磊晶生长系统 | reduced presure vapor phase epitaxial growth system 减压汽相磊晶生长系统 |
| redundancy analyzer 冗余分析仪 | redundancy function 多余功能，冗余功能 | redundant memory repair system 冗余记忆器检修系统 |
| reel 卷筒 | reference plane 基准面 | reference signal 参考信号；基准信号 |
| reference source 基准信号电源 | refining speed 精练速度 | reflectance of a surface or medium 反射率 |
| reflected glare 反射眩光 | reflected signal 反射信号 | reflection 反射 |
| reflection high energy electron diffraction method 反射高能电子绕射法 | reflector 反射器 | reflow 圆滑热处理，平坦化热处理技术 |
| refresh function 刷新功能；再生功能 | register transfer level description 缓存器传送位阶记述 | register transfer level floor plan 缓存器传送层级平面图 |
| register transfer level sign off RTL（缓存器传送位阶）签字保证 | registration accuracy 重合精确度 | relative humidity 相对湿度 |
| relay 继电器 | remaining gate 残留闸门 | remaining resin 残留树脂 |
| remaining tie bar 残留脚端联结杆 | residual air 残留空气 | residual chlorine meter 残留氯气测试计 |
| resin cutting 树脂切割 | resinoid grinding wheel 熟化树脂研磨轮 | resist ashing system 抗转剂灰化系统 |
| resist curing system 抗蚀剂熟化系统 | Resist Electromagnetic Wave Clothing 隔电磁波防护衣 | resist ozone asher 抗蚀剂臭氧灰化机 |
| resist plasma ashing system 等离子体抗蚀剂灰化系统 | resist processing equipment 抗蚀剂处理设备 | resist stripper 抗蚀剂剥离液 |
| resist stripping system 抗蚀剂剥离系统 | resist temperature control 抗蚀剂温度控制 | resist thermal stability 抗蚀剂热稳定性 |
| resist thickness uniformity 抗蚀剂膜厚均质性 | Resistance 电阻 | resistance heading furnace 电阻加热炉 |
| resistance heating element 电阻加热组件 | resistance heating evaporation system 电阻加热真控蒸镀系统 | resistance heating method 电阻加热法 |
| Resistance Temperature Detector (RTD) 电阻温度检测器 | resistive element 电阻性成份 | Resistivity 电阻率ρe |
| Resistor 电阻 | resolution 分解度 | resolving aperture 鉴别孔隙 |
| Reticle 光罩 | reticle alignment 标线片对准 | reticle blind 标线片遮帘 |
| reticle holder 标线片固定器 | reticle loader 标线片搭载器 | reticle rotation error 标线旋转误差 |
| reticle stage 标线片载物台 | reusable design 再利用设计 | reverse bias 逆向偏压 |
| reverse bonding 逆向接合，逆向压接 | reverse motion 反向动作 | reverse synthesis 逆向合成 |
| revolution mark 旋转标痕 | revolution speed set up time 旋转速度建立时间 | rewinding 倒带 |
| RF diode sptuttering system 高频二极管溅镀系统 | RF electrode 高频施加电极 | RF generator 高频产生器` |
| RF plasma enhanced CVD system 高频等离子体增强CVD系统 | ridge 隆起物 | ring blade 环形刀片 |
| Ripple 涟波 | Ripple factor 涟波因子 | Rise time 上升时间 |
| robot for using in vacuum 真空机械人 | robotic transporter 机械人输送机 | roller 滚筒，山刷滚轮 |
| ROM test data memory ROM测试数据记忆器 | room utilization factor (utilance) 室利用系数 | Root-mean-square value (RMS) 均方根值 |
| rotary and revolutionary jig 自转公转夹具 | rotary head bonder 旋转压接头接合机 | rotating ingot slicing machine 晶锭旋转切割机 |
| rotating speed 转盘旋转速度 | rotation speed 自旋马达之回转数 | rotational implant 旋转式〈离子〉植入 |
| rotor turn table 转子转盘 | Routing 绕线 | routing switch 路由开关 |
| run out 产生误差 | runner 树脂流道 | runner stop 树脂流道口堵塞物 |
| Rutherford backscattering method 卢瑟福后向散射法 |
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