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| oblique incidence illumination 倾射入射照明 | oblique lighting 斜角照明 | observability 可观察性 |
| OCR Optical character recognition 光学字符办识 | off line 离线 | off-axis alignment 轴外对准 |
| offset 偏置 | offset control 偏置控制 | offset cylinder 胶版滚筒 |
| offset printing press 胶版印刷机 | Offset Voltage 抵补电压 | Ohm 奥姆 |
| on-axis alignment 轴上对准 | on-off electrical pulse 开关电脉冲 | on-off ratio 开/关比值 |
| on-the-fly link blow 连接线快速烧断 | on-the-fly split 快速分档改变 | one bath type cleaning equipment 单槽型洗条设备 |
| one layer tape 一层胶带 | one line compiler 单形编译器 | open cassette 开放式晶圆匣 |
| Open Circuit 断路 | operation box 操作箱 | Operational Amplifiers 运算放大器 |
| optical aligner 光对准曝光器 | Optical Bias 光学偏压 | optical detector of particle on surfaces 表面微粒生学探测器 |
| optical edge bead removal 晶圆边缘曝光球状物去除 | Optical Isolators 光隔离器 | Optical Proximity Correction Mask 光学近接修边衬光罩 |
| optical tweezer 光钳 | optional beam induced current 光束感应电流 | Optocoupler 光耦合器 |
| OR Gate 或门 | organo-metallic CVD system 有机金属CVD系统 | organo-metallic VPE system 有机金属VPE系统 |
| orientation flat 定向平面 | orientation flat aligner/flat orientor 定向平面对准器 | orientation flat arrange equipment 晶圆定向平面摆齐装置 |
| orienter 定方位器 | Orifice 缩流孔 | out diameter saw 外径锯子 |
| outer diameter blade 外径刀片 | outer lead 外界引线 | outer lead bonder 外界脚端接合机 |
| outer lead bonding 外界脚端接合 | Output Impedance 输出阻抗 | outside heating method 外部加热法 |
| over drive 超越驱动；多余驱动 | over flow rinse 溢流冲洗 | over ride 功能超越 |
| over travel 超程；多余行程 | over-erase prohibit function 过多删除禁止功能 | over-etching 过份蚀刻 |
| over-programming prohibit function 过多程序设计禁止功能 | overall timing accuray 全部定时信号精准度 | overcurrent & ground fault detecting sensor 过电流与接地错误检知传感器 |
| overflow cup etching system 溢流杯蚀刻系统 | overhang 突出部分，县垂物 | overlay accuracy 重迭精确度 |
| Oxidation 氧化法 | oxidation induced stacking fault 氧化感应迭层缺陷 | oxidation seed 氧化种子 |
| oxidation system 氧化系统 | oxygen concentration monitor 氧气浓度监控器 | Oxygen donor 氧气施体 |
| oxynitridation in N2O 在N2O中之氧氮化 | oxynitridation in N2O(NO) 在N2O(NO)中之氧氮化 | Ozone gas processor 臭氧瓦斯处理器 |
| Ozone removal equipment 臭气去除装置 | ozonized ultrapure water 臭氧化超纯水 |
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