.
| Ideal gas law 理想气体定律 |
Ideal pumping speed 理想抽气速率 |
Indium 铟 |
| Inlet pressure 进气压力 |
insect-like robot (InsBot) 昆虫似机器人 |
intensive property 内含性质 |
| internal energy 内能 |
Internal leakage 内漏 |
Ion burial 离子掩埋 |
| Ion desorption 离子逸出 |
Ion detector 离子检测器 |
Ion seperation 离子分离 |
| Ion source 离子源 |
Ion voltage 离子加速电压 |
Ionization 电离 |
| irreversible process 不可逆过程 |
ISO 国际标准组织 |
isolated system 隔绝系统 |
| Isolation valve 隔离阀 |
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